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中文名称：表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析
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英文名称：Surface chemical analysis—Depth profiling—Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering
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原文名称：
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中标分类：G04
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ICS分类：71.040.40
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标准分类编号：CN
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页数：
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发布日期：2026-01-28
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实施日期：2026-08-01
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作废日期：
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被替代标准：
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代替标准序号：
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引用标准：
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采用标准化：ISO 23170-2022,IDT
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补充修订：
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标引依据：国家标准公告2026年第4号
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标准摘要：
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