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中文名称：表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法
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英文名称：Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
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原文名称：
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中标分类：G04
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ICS分类：71.040.40
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标准分类编号：CN
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页数：
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发布日期：2026-01-28
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实施日期：2026-08-01
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作废日期：
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被替代标准：
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代替标准序号：GB/T 34326-2017
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引用标准：
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采用标准化：ISO 16531-2020,IDT
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补充修订：
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标引依据：国家标准公告2026年第4号
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标准摘要：
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