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中文名称：表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
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英文名称：Surface chemical analysis. X-ray photoelectron spectroscopy. Reporting of results of thin-film analysis
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原文名称：
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中标分类：G04
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ICS分类：71.040.40
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标准分类编号：CN
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页数：42
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发布日期：2018-06-07
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实施日期：2019-05-01
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作废日期：
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被替代标准：
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代替标准序号：
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引用标准：ISO 18115-1-2010
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采用标准化：ISO 13424-2013,IDT
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补充修订：
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标引依据：国家标准公告2018年第9号
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标准摘要：本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。
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