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中文名称：微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法
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英文名称：Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
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原文名称：
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中标分类：G04
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ICS分类：71.040.40
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标准分类编号：CN
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页数：
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发布日期：2025-08-29
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实施日期：2026-03-01
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作废日期：
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被替代标准：
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代替标准序号：
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引用标准：
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采用标准化：ISO 21466-2019,IDT
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补充修订：
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标引依据：国家标准公告2025年第21号
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标准摘要：
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