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中文名称：表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
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英文名称：Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
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原文名称：
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中标分类：G04
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ICS分类：71.040.40
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标准分类编号：CN
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页数：
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发布日期：2025-06-30
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实施日期：2026-01-01
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作废日期：
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被替代标准：
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代替标准序号：GB/T 20176-2006
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引用标准：
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采用标准化：ISO 14237-2010,IDT
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补充修订：
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标引依据：国家标准公告2025年第14号
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标准摘要：
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