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中文名称：微束分析 电子探针显微分析 块状试样波谱法定量点分析
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英文名称：Microbeam analysis—Electron probe microanalysis—Quantitative point analysis for bulk specimens using wavelength dispersive X-ray spectroscopy
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原文名称：
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中标分类：G04
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ICS分类：71.040.99
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标准分类编号：CN
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页数：
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发布日期：2025-04-25
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实施日期：2025-11-01
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作废日期：
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被替代标准：
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代替标准序号：GB/T 28634-2012
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引用标准：GB/T 27025-2019;ISO 14594;ISO 14595
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采用标准化：ISO 22489-2016,IDT
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补充修订：
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标引依据：国家标准公告2025年第10号
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标准摘要：本文件规定了应用电子探针显微分析仪或者安装在扫描电镜(SEM)的波谱仪(WDS),通过电子束与试样相互作用产生的X射线对试样微米尺度体积内的元素进行定量分析的要求。
本文件还包括如下内容：
——定量分析原理；
——本方法涉及的元素、质量分数和标准物质的一般范围；
——仪器的一般要求；
——有关试样制备、实验条件选择、分析测量和报告等基本过程。
本文件适用于电子束垂直入射到表面平滑、均匀的块状试样的定量分析。对仪器和数据处理软件没有特殊的要求。使用者宜从仪器制造厂家获得仪器安装条件、详细的操作程序及仪器规格等信息。
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