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中文名称：精细陶瓷 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜(晶圆)结晶质量
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英文名称：Fine ceramics—Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
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原文名称：
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中标分类：Q30
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ICS分类：81.060.30
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标准分类编号：CN
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页数：
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发布日期：2026-05-25
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实施日期：2026-12-01
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作废日期：
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被替代标准：
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代替标准序号：
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引用标准：
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采用标准化：ISO 22278-2020,IDT
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补充修订：
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标引依据：国家标准公告2026年第23号
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标准摘要：
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