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中文名称：重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法
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英文名称：Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates—Infrared reflectance method
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原文名称：
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中标分类：H21
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ICS分类：77.040
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标准分类编号：CN
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页数：
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发布日期：2025-10-31
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实施日期：2026-05-01
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作废日期：
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被替代标准：
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代替标准序号：GB/T 14847-2010
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引用标准：
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采用标准化：
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补充修订：
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标引依据：国家标准公告2025年第29号
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标准摘要：
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