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中文名称：工业高纯氢氟酸
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英文名称：High purity hydrofluoric acid for industrial use
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原文名称：
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中标分类：G11
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ICS分类：
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标准分类编号：QT
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页数：
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发布日期：2023-12-20
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实施日期：2024-07-01
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作废日期：
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被替代标准：
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代替标准序号：HG/T 4509-2013
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引用标准：GB 190;GB/T 191-2008;GB/T 6678;GB/T 6680;GB/T 6682-2008;GB 12268-2012;HG/T 3696.1;HG/T 3696.2;HG/T 3696.3;GB/T 8170
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采用标准化：
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补充修订：
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标引依据：工业和信息化部公告2023年第38号;行业标准备案月报2024年第1号(总第285号)
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标准摘要：本文件规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输、贮存。本文件适用于工业高纯氢氟酸。注：该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
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